无油螺杆真空泵的吹扫功能包括清洗、冷却、密封。蒸汽吹扫用于清洗，适用于一些含有机物、聚合物、油脂等介质的抽气环境，防止这些物质在泵腔内积聚。可能很多用户都遇到过这样的情况，停机前设备运行一切正常，停机一段时间后重新开机就会出现无法启动、电机过载等问题。其中一种可能就是抽气介质环境含有上面说的一些东西，停机后没有进行清理，从而导致污物冷却积聚引起卡死等问题。因此在停机前通入蒸汽吹扫，可以很好的解决这个问题。

无油螺杆真空泵具体的吹扫流程也比较简单：

首先是关闭无油螺杆真空泵的进气口阀门，并打开排气阀门；然后通过蒸汽入口（珂勒曦无油螺杆真空泵的蒸汽吹扫入口设置在进气口处），通入表压1Kg/cm2左右的蒸汽并根据介质的实际情况持续1～10分钟；蒸汽通入结束后，转动联轴器，看转子的转动是否顺畅；如果真空泵的转动顺畅，就可以结束吹扫过程，并启动电机，看是否运转正常，并在无负载的情况下让真空泵运行10～20分钟，继续排出残留的蒸汽；如果盘动过程不是很顺畅，这时就不要启动电机，继续反复通入蒸气，直至盘动过程变得顺畅，再启动电机进入最后的吹扫过程。

另外，对于一些停机后久未启动过的无油螺杆真空泵，为确保运行安全，必要时也可以在启动前进行蒸气吹扫作业，防止强行启动而出现一些问题。